ASML print eerste beelden met high-NA-euv-testmachine en behaalt 10nm-resolutie
18-04-2024
Bron tekst / afbeelding: Tweakers
ASML heeft de eerste beelden geprint met zijn high-NA-euv-testmachine in Veldhoven. De geprinte lijntjes hadden voor het eerst een resolutie van 10nm. De huidige euv-machines van ASML hebben een 13nm-resolutie.
