ASML levert eerste NXE:3600D-euv-systeem en wil in 2023 zestig systemen leveren
21-07-2021
Bron tekst / afbeelding: Tweakers
ASML heeft de eerste Twinscan NXE:3600D geleverd aan een klant. Dit is ASML's nieuwste euv-systeem, met een hogere waferproductiviteit. In 2023 wil het Veldhovense bedrijf opschalen om zestig van deze systemen te kunnen produceren en leveren.
